Lazerle sondajın esnekliği ve hızı, en ince kör deliklerin ve deliklerin yerleştirilmesi alanında avantajlıdır. Mikro delme için iki farklı lazer işlemi vardır: darbeli lazerlerle füzyon sondajı ve harici gaz desteğinin yanı sıra buharlaşmaya bağlı eriyik ejeksiyonu.
Lazer radyasyonunun uygun dalga boyunu ve güç yoğunluğunu seçerek, hemen hemen tüm katı malzemeler (metaller, yarı iletkenler, plastikler, seramikler, elmas) lazerle delinebilir.
Lazerle delme için çeşitli teknikler
Birkaç mikrometre derinliğe sahip kör deliklerin darbeli delinmesi, yapıştırıcı veya kaplama işlemleri için yüzeylerin seçici pürüzlendirilmesi için kullanılır. Küçük iş parçası kalınlıklarına sahip delikler için tek darbeli yöntemler kullanılabilir. Daha kalın malzemeler için, bir dizi lazer darbesiyle vurmalı delme istenen delme derinliğini sağlar. Büyük çaplı işlem ya da çoklu kesim, Trepanning, Birleşik sondaj-pass yöntemleri kullanılır.